MEMS智能傳感器，能讓人與物“對話”、物與物“互通”，實現(xiàn)“萬物互聯(lián)”。

位于蚌埠市龍子湖畔的中國傳感谷，正聚力打造千億級智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)集群，一群不忘初心、求真務(wù)實的優(yōu)秀共產(chǎn)黨員科技工作者們，正積極推動蚌埠市智能傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。陳博就是其中的一位。

作為中國三大傳感器研發(fā)制造基地之一，蚌埠在智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展上基礎(chǔ)好、起步早、發(fā)展快，是安徽唯一、全國為數(shù)不多的同時擁有集成電路和MEMS晶圓生產(chǎn)線的城市。

“一個小小的數(shù)據(jù)，可能就需要整個團(tuán)隊配合才能完成?！卑不毡狈轿㈦娮友芯吭杭瘓F(tuán)有限公司（簡稱：北方微電子院）高級工程師陳博，2008年畢業(yè)以后來到蚌埠，長期從事MEMS工藝制造技術(shù)研究。

據(jù)悉，蚌埠全市智能傳感產(chǎn)業(yè)有200余家相關(guān)企業(yè)，其中高新技術(shù)企業(yè)50家，省級以上專精特新企業(yè)17家，覆蓋產(chǎn)業(yè)上下游各個環(huán)節(jié)，經(jīng)濟(jì)規(guī)模總量超百億元。其中，坐落在蚌埠市的北方微電子院，是國內(nèi)中高端MEMS技術(shù)與產(chǎn)品的頭部企業(yè)。

6月27日上午，剛剛走出實驗室的陳博，身穿實驗操作服、戴著一副半黑框的眼鏡。隨后，他和團(tuán)隊的小伙伴一起，分析實驗過程中發(fā)現(xiàn)的問題、尋找原因?！耙欢ㄒ页鲈颍拍苷嬲酝?、解決問題?！标惒┱f。

2008年，陳博畢業(yè)于吉林大學(xué)應(yīng)用物理學(xué)專業(yè)。今年39歲的他，是一名“老黨員”，黨齡19年。

“在大學(xué)里，我就已經(jīng)加入中國共產(chǎn)黨?！标惒┱f，革命英雄的事跡和崇高精神將永遠(yuǎn)銘記在人民心中，也是激勵我們前行的強大力量。

陳博具有豐富的MEMS體硅工藝和MEMS器件工藝流程開發(fā)研究經(jīng)驗。近年來，他承擔(dān)的國家、地方科研項目10余項，涉及產(chǎn)品包括MEMS慣性傳感器、光學(xué)MEMS微鏡、MEMS超聲換能器等，廣泛應(yīng)用于我國國防工業(yè)領(lǐng)域。

不斷探索、精益求精。成功并非一蹴而就，而是日復(fù)一日的堅持、團(tuán)隊合作的共同努力、堅守。

“產(chǎn)品研發(fā)過程中，出現(xiàn)異常，太正常了。我們要做的，就是發(fā)現(xiàn)問題，然后去解決它。”陳博告訴記者，作為一名技術(shù)人員，這是他們工作的常態(tài)。發(fā)現(xiàn)了問題，需要組織人員進(jìn)行實驗分析，查找原因，再想解決措施。

功夫不負(fù)有心人。作為項目負(fù)責(zé)人，陳博帶領(lǐng)技術(shù)團(tuán)隊，通過堅持不懈的努力，突破了多項MEMS體硅加工關(guān)鍵技術(shù)和MEMS器件攻關(guān)研制。近年來，陳博申報國家發(fā)明專利20項，已獲授權(quán)16項，獲得中國兵器工業(yè)集團(tuán)科技進(jìn)步獎、科技創(chuàng)新獎、技術(shù)改進(jìn)獎等獎項10余項。

“智能汽車就會用到我們的技術(shù)?！标惒┙榻B，比如說MEMS掃描鏡，它是小型化MEMS激光雷達(dá)的核心部件，可以大幅降低激光雷達(dá)成本、提高探測精度、減小體積、實現(xiàn)自動駕駛的快速落地，在自動駕駛產(chǎn)業(yè)具有廣闊的市場前景。作為產(chǎn)品負(fù)責(zé)人，陳博帶領(lǐng)團(tuán)隊突破了MEMS掃描鏡的核心制造技術(shù)，實現(xiàn)了產(chǎn)品的批量生產(chǎn)。

正如陳博所言，在這里，大到100多人的大團(tuán)隊，小到不足20人的項目團(tuán)隊，求真務(wù)實、學(xué)習(xí)創(chuàng)新氛圍濃厚，一群人在為夢想奮斗。