MEMS熱電堆——讓深硅刻蝕成為行業(yè)新寵
深硅刻蝕技術(shù)在工業(yè)界應(yīng)用廣泛，包括集成電路制造、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造和微納光子學(xué)的研究等領(lǐng)域，其經(jīng)歷了由濕法刻蝕到干法
2020-04-29
6項微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)國家標(biāo)準(zhǔn)獲批發(fā)布 助力行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展
2024年9月29日，市場監(jiān)管總局（國家標(biāo)準(zhǔn)委）發(fā)布2024年第22號國家標(biāo)準(zhǔn)公告，批準(zhǔn)發(fā)布《微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 傳感器用MEMS壓電薄膜的環(huán)境試驗方法》（GB/T 44513-2024）等六項微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)國家標(biāo)準(zhǔn)，計劃于2025年4月前陸續(xù)實施。這六項國家標(biāo)準(zhǔn)由全國微機電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC336）歸口，明確了MEMS
2024-10-17
昆博研究院牽頭起草MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片國家標(biāo)準(zhǔn)
日前，全國標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺公開發(fā)布信息，由昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司（簡稱：昆博研究院）牽頭起草的《微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS硅壓阻溫壓復(fù)合壓力傳感器芯片》獲批立項，正式進(jìn)入起草階段，這是該研究院第二次牽頭制定國家標(biāo)準(zhǔn)。圖片近年來，昆山昆博智能感知產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司憑借其專業(yè)的
2024-08-11
欣“芯”向榮！安徽出臺14條舉措打造智能傳感產(chǎn)業(yè)集群
5月25日，在第六屆中國（蚌埠）MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會上，安徽省人工智能產(chǎn)業(yè)推進(jìn)組發(fā)布《關(guān)于支持中國傳感谷發(fā)展若干政策》，通過支持加大投入、創(chuàng)新發(fā)展、人才引育等五個方面的14條舉措，支撐安徽省蚌埠市立足中國傳感谷打造皖北地區(qū)高質(zhì)量發(fā)展增長極和智能傳感產(chǎn)業(yè)集群新高地。圖片政策中提出，在支持加大投入方面
2024-05-27
為狀態(tài)監(jiān)控選擇MEMS加速度計時，這些經(jīng)常被忽視的參數(shù)
MEMS加速度計對于檢測故障情況、幫助防止意外斷電或避免發(fā)生其他代價高昂的事件至關(guān)重要，但我們在選擇和安裝合適的MEMS傳感器之前，需要仔細(xì)考慮多個關(guān)鍵參數(shù)，然而這些參數(shù)常常被忽視。本文將討論您在做出選擇時應(yīng)特別留意的一些關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)。狀態(tài)監(jiān)控 CbM是利用傳感器監(jiān)測機械系統(tǒng)可能出現(xiàn)的潛在缺陷或損壞的過程。CbM用于
2023-08-12
一起了解Mems加速度傳感器特點
微機電系統(tǒng)，Micro-Electro-Mechanical-SySTems，簡稱MEMS，基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器已有30多年的發(fā)展歷史，但因為存在技術(shù)和成本等客觀發(fā)展因素的限制，未能像電子消費產(chǎn)品一樣進(jìn)入市場。目前，由于MEMS加速度傳感器技術(shù)的進(jìn)步，如今低功耗、高性能的MEMS加速度傳感器已經(jīng)改變了市場新的傳感器市場發(fā)展趨勢。mems加速度
2020-12-14
電子工程師最關(guān)注什么？調(diào)查顯示五大傳感器技術(shù)趨勢
近日，專注傳感器行業(yè)的國外網(wǎng)站FierceElectronics對2020年電子工程師感興趣的主題進(jìn)行了調(diào)查，調(diào)查顯示，按照排名順序，電子工程師最關(guān)注的主題領(lǐng)域是：微機電系統(tǒng)、物聯(lián)網(wǎng)和連接設(shè)備、自動駕駛汽車、低功耗和電源管理、系統(tǒng)設(shè)計。是什么趨勢促使人們對這些主題產(chǎn)生興趣？一、MEMS 自從將MEMS用于檢測鋼中應(yīng)變的第一個商業(yè)
2020-06-24
帶你了解MEMS陀螺儀的工作原理
陀螺儀是用來測量角速率的儀器，在加速度功能基礎(chǔ)上，可以進(jìn)一步發(fā)展，構(gòu)建陀螺儀。陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的：對固定指施加電壓，并交替改變電壓，讓一個質(zhì)量塊做振蕩式來回運動，當(dāng)旋轉(zhuǎn)時，會產(chǎn)生科里奧利加速度，此時就可以對其進(jìn)行測量；這有點類似于加速度計，解碼方法大致相同，都會用到放大器。角速率由科氏加速度測
2020-05-13
應(yīng)用于MEMS產(chǎn)品的精密電子零部件及制造技術(shù)
一、精密電子零部件概述 微機電系統(tǒng)（MEMS）是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型電子裝置，主要可分為微型傳感器和微型執(zhí)行器兩個大類。由于MEMS的尺寸較小，用于生產(chǎn)MEMS產(chǎn)品的零部件通常也相對較小，一般僅為幾毫米，因此MEMS產(chǎn)品對精密零部件的加工精密度要求非常高。根據(jù)功能和作用的不同，應(yīng)用于MEMS產(chǎn)品的常見精密電子
2020-04-01
中國傳感器發(fā)展的外患內(nèi)憂及政策解讀
數(shù)字化技術(shù)驅(qū)動產(chǎn)業(yè)升級，產(chǎn)品逐步進(jìn)入智能階段。繼互聯(lián)網(wǎng)之后，與國民經(jīng)濟(jì)息息相關(guān)的物聯(lián)網(wǎng)也被推到了風(fēng)口浪尖，根據(jù)此前全球物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展數(shù)據(jù)來看，2018年全球物聯(lián)網(wǎng)市場規(guī)模突破千億美元。不可否認(rèn)，未來，國內(nèi)外物聯(lián)網(wǎng)的市場前景十分廣闊，但是就目前國內(nèi)物聯(lián)網(wǎng)而言，從感知、傳輸、計算以及應(yīng)用層面上依然存在亟待解決。
2019-12-10
掌握MEMS工藝變量 利用vHF氣相蝕刻SiO?
由于微機電系統(tǒng)（MEMS）產(chǎn)品的三維（3D）結(jié)構(gòu)及其與生俱來的機械特性，制造MEMS器件面臨著獨特的挑戰(zhàn)。此類產(chǎn)品需要特定的微機械結(jié)構(gòu)，以便實現(xiàn)包括振動、旋轉(zhuǎn)或其他動作類型的MEMS功能（圖1）。為此，MEMS制造工藝流程要求在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體器件制造工藝流程中增加一個維度（高度），因為傳統(tǒng)的工藝僅用于制造平面型電子器件
2019-11-14
工信部：《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動指南》獲批
據(jù)消息，工信部電子信息司副司長彭紅兵日前透露，《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動指南（2017-2019）》已獲部長辦公會正式審議通過。該行動指南明確產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標(biāo)和方向就是傳感器的智能化，并制定了產(chǎn)業(yè)發(fā)展路線圖，確定了MEMS（微機電系統(tǒng)）工藝和集成電路工藝相結(jié)合的產(chǎn)業(yè)發(fā)展路徑，以及以市場應(yīng)用為主導(dǎo)的政策扶持原則。
2017-05-09
西安交大在人工智能設(shè)計MEMS陀螺儀領(lǐng)域取得重要進(jìn)展
采用微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)設(shè)計的MEMS陀螺具有體積小、功耗低、成本低、易于與集成電路集成等優(yōu)點，對微納衛(wèi)星、無人機群等先進(jìn)裝備的大批量部署具有重要意義。MEMS陀螺儀正在取代造價昂貴的傳統(tǒng)陀螺儀，目前，中低
2024-11-06
北京大學(xué)高成臣團(tuán)隊在MEMS壓力傳感器領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)多項突破
2023年1月，某超小型MEMS壓力傳感器芯片成功研制，器件技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平，為解決該項技術(shù)的“卡脖子”問題、實現(xiàn)產(chǎn)品自主可控邁出了堅實的一步。作為技術(shù)團(tuán)隊的負(fù)責(zé)人，57歲的北京大學(xué)集成電路學(xué)院教授級高
2024-03-06
利用MEMS振動傳感器實現(xiàn)汽車外部拾音
汽車行業(yè)近些年正在經(jīng)歷一場巨變，越來越多的電子元器件正被集成到汽車之中，以提高駕駛員和乘客的安全性和舒適性。甚至，如今的汽車已經(jīng)比幾十年前的超級計算機，擁有更高的算力和功能。自動駕駛汽車現(xiàn)在似乎已經(jīng)準(zhǔn)
2023-12-22
萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器轉(zhuǎn)化應(yīng)用取得新進(jìn)展
中國航天科技集團(tuán)有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進(jìn)工業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控和升級換代提供核心關(guān)鍵產(chǎn)品。圖片“高精度MEMS諧振式壓力傳感器涉及電子、機械、材料、熱
2023-11-09
電科思儀110GHz同軸探針步入國際先進(jìn)行列
微波測量探針廣泛應(yīng)用于射頻集成電路在片測試、管結(jié)參數(shù)提取、MEMS器件測試等領(lǐng)域，是發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的必備工具。中電科思儀科技股份有限公司于2022年1月正式推出Ceyear36102系列寬頻帶同軸探針，集現(xiàn)代微波毫米波寬
2022-09-15
研究人員利用大面陣窄帶F-P干涉儀，實現(xiàn)長波紅外光譜傳感
西澳大利亞大學(xué)研究人員利用基于MEMS的固定腔法布里-珀羅（F-P）干涉儀實現(xiàn)了在長波紅外（LWIR）波段的光學(xué)遙控成像和傳感，并完成了該光譜系統(tǒng)的輕型化和便攜式。F-P干涉儀基于鍺 (Ge) 氟化鋇 (BaF2) 薄膜分布式布
2022-06-24
東南大學(xué)研發(fā)可穿戴無縫多模傳感器，可識別不同關(guān)節(jié)運動狀態(tài)
近日，東南大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院MEMS教育部重點實驗室的孫立濤教授研究團(tuán)隊在MicrosystemsNanoengineering上報道了一種新型可穿戴無縫多模傳感器，該傳感器能夠解耦壓力和應(yīng)變刺激，并識別不同的關(guān)節(jié)運動狀態(tài)。在
2022-03-11
MEMS鍵合工藝成就單芯片“可見光+短波紅外”高光譜成像
近年來，人們對短波紅外（在1000到2000納米之間）波段的成像需求不斷攀升。這些短波紅外傳感器在食品檢驗等行業(yè)至關(guān)重要，它們可以提供探測物體內(nèi)部的能力，例如，可通過早期探測蘋果瘀傷，來防止整個蘋果變壞（如圖
2020-08-07
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1. 羅德與施瓦茨重磅參展IBC 2019——將展示 5G 廣播技術(shù)下監(jiān)控即服務(wù)（MaaS）, IP多畫面監(jiān)看等
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2. 搭建供需橋梁 深化交流合作——上海石化展采購對接會
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3. SNEC第十四屆(2020)國際太陽能光伏與智慧能源(上海)展覽會暨論壇
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4. 2019國際新型顯示技術(shù)展6月26日上海開幕 顯示黑科技閃耀
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5. 2020慕尼黑上海電子生產(chǎn)設(shè)備展：智引未來，加速創(chuàng)新
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6. 德國杜塞爾多夫國際冶金技術(shù)展覽會METEC
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7. 美國拉斯維加斯國際消費類電子產(chǎn)品展覽會CES
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8. 中美貿(mào)易摩擦下 7月10日迎來2019國際材質(zhì)分析、實驗室設(shè)備及質(zhì)量控制覽
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9. NEPCON ASIA預(yù)登記火熱上線 ，深圳喜迎電子行業(yè)年度大秀
