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日前,美國(guó)公布了一份長(zhǎng)達(dá)35頁(yè)的《新興科技趨勢(shì)報(bào)告》。該報(bào)告是在美國(guó)過(guò)去五年內(nèi)由政府機(jī)構(gòu)、咨詢機(jī)構(gòu)、智囊團(tuán)、科研機(jī)構(gòu)等發(fā)表的32份科技趨勢(shì)相關(guān)研究調(diào)查報(bào)告的基礎(chǔ)上提煉形成的。通過(guò)對(duì)近700項(xiàng)科技趨勢(shì)的綜合比
不管是工業(yè),還是生活生產(chǎn)過(guò)程中,傳感器的作用都是很重要,扮演著信息搜集以及處理的角色。為何會(huì)出現(xiàn)MEMS傳感器呢?這與芯片、材料和制造技術(shù)的發(fā)展密不可分,MEMS傳感器它是一種融合了機(jī)電和控制技術(shù)的傳感器,相
在過(guò)去幾十年中,微型化是微電子行業(yè)的重點(diǎn)發(fā)展方向。更小型的設(shè)備運(yùn)行速度更快且具有更緊湊的系統(tǒng)。納米技術(shù)和薄膜處理領(lǐng)域的進(jìn)步已延伸到各種技術(shù)領(lǐng)域,包括光伏電池、溫差電材料和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。這些材料和
硅材料從大自然常見的沙子中取材,成本低、產(chǎn)量大,因此被廣泛用作MEMS器件的襯底材料,并被譽(yù)為信息時(shí)代的“骨干”材料。但是,硅在常溫環(huán)境下的脆性限制了MEMS的許多機(jī)械性能。蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院(ETH)與瑞士國(guó)
近日,湖南大學(xué)機(jī)械與運(yùn)載工程學(xué)院微納制造與微系統(tǒng)技術(shù)研究團(tuán)隊(duì)提出了一種基于電極質(zhì)量負(fù)載超靈敏的聲表面波敏感機(jī)制,并采用新型電子束納米加工藝、結(jié)合自主推導(dǎo)的專用鄰近效應(yīng)修正公式,制備了超高頻超靈敏的聲表
MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體 集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的,它開辟了一個(gè)全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),其目標(biāo)是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集成在一起,組成具有多功能的微型系統(tǒng),集成于大尺寸系
近兩年來(lái),車聯(lián)網(wǎng),自動(dòng)駕駛、無(wú)人駕駛,汽車智能化等成為了汽車行業(yè)的熱點(diǎn)話題, 也指引了汽車在未來(lái)的發(fā)展方向,目的都是為了進(jìn)一步提升車輛行駛中的安全性,可靠性及舒適性。以很簡(jiǎn)單的例子來(lái)看,傳統(tǒng)的緊急制動(dòng)
近紅外光譜可為物質(zhì)提供特有的吸收光譜,從而使鑒別氣體種類成為可能。因此,需要利用小型化光譜儀實(shí)現(xiàn)緊湊型氣體傳感器,從而監(jiān)測(cè)生活空間的空氣質(zhì)量。然而,傳統(tǒng)近紅外光譜儀均是利用光柵將入射光分散至不同波長(zhǎng),
聲級(jí)計(jì)(Sound Level Meter,簡(jiǎn)稱SLM)的主要成本是測(cè)量級(jí)麥克風(fēng),如0.5英寸反應(yīng)耦合等離子體(Inductively Coupled Plasma,簡(jiǎn)稱ICP)麥克風(fēng)。高昂的麥克風(fēng)成本限制了聲級(jí)計(jì)在如建筑工地監(jiān)測(cè)或環(huán)境研究等諸多儀器中
傳感器是物聯(lián)網(wǎng)(IoT)的核心。從“智能家居和辦公室”到“戶外環(huán)境和智能工廠”,基于MEMS和IC技術(shù)的感知芯片為所有正在改變數(shù)字格局的新興應(yīng)用提供發(fā)展動(dòng)力。物聯(lián)網(wǎng)曾經(jīng)定位于工業(yè)或汽車領(lǐng)域,但是它不斷拓展應(yīng)用
測(cè)試背景MEMS技術(shù)應(yīng)用使得金屬氧化物(MOX)氣體傳感器在晶圓級(jí)大規(guī)模生產(chǎn)中得以廣泛應(yīng)用,大大降低了硅晶圓制造的成本。這些氣體傳感器裝置適用于一氧化碳(CO)和各種揮發(fā)性有機(jī)化合物(OCs),如:如乙醇、丙酮和甲苯的
測(cè)試背景MEMS技術(shù)應(yīng)用使得金屬氧化物(MOX)氣體傳感器在晶圓級(jí)大規(guī)模生產(chǎn)中得以廣泛應(yīng)用,大大降低了硅晶圓制造的成本。這些氣體傳感器裝置適用于一氧化碳(CO)和各種揮發(fā)性有機(jī)化合物(OCs),如:如乙醇、丙酮和甲苯的
相對(duì)重力儀是一種測(cè)量重力加速度變化的儀器,它在區(qū)域重力研究及重力填圖、油氣及礦藏勘探、地球重力場(chǎng)輔助導(dǎo)航等方面有著廣泛的應(yīng)用。但是,目前商用的相對(duì)重力儀器主要是進(jìn)口設(shè)備,價(jià)格非常昂貴,而且體積較大,限
東京工業(yè)大學(xué)的益一哉校長(zhǎng)等人與NTT尖端技術(shù)公司利用由多個(gè)金屬層形成的積層金屬結(jié)構(gòu),成功開發(fā)出具有超低噪聲和超高靈敏度特性的MEMS加速度傳感器。實(shí)現(xiàn)了利用以往的MEMS技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)的1微(μ)G級(jí)(G=9.8m/s2,重
福祿克全新推出的ii900聲學(xué)泄露檢測(cè)儀采用尖端的陣列MEMS傳感器技術(shù),通過(guò)采集0-50KHZ的聲波及超聲波結(jié)合可見關(guān)技術(shù),可以在最遠(yuǎn)50米外在10秒內(nèi)快速發(fā)現(xiàn)壓縮空氣/二氧化碳/氮?dú)獾?mm以內(nèi)的小孔徑泄露(和壓力相關(guān)),
NI宣布推出PXIe-4163高密度源測(cè)量單元(SMU),該測(cè)量單元提供了比以往NI PXI SMU高達(dá)6倍的直流通道密度,適用于測(cè)試RF、MEMS以及混合信號(hào)和其他模擬半導(dǎo)體元件。由于其高吞吐量、高性價(jià)比和占地面積小,NI的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)(STS)正在快速應(yīng)用到芯片生產(chǎn)中。
無(wú)人飛行器安裝的監(jiān)控設(shè)備、海上微波接收機(jī)、車輛安裝的紅外成像系統(tǒng)傳感器以及其他儀器系統(tǒng)都需要具有穩(wěn)定的平臺(tái),以達(dá)到最佳性能,但它們通常在可能遇到振動(dòng)和其他類型不良運(yùn)動(dòng)的應(yīng)用中使用。振動(dòng)和正常車輛運(yùn)動(dòng)會(huì)導(dǎo)致通信中斷、圖像模糊以及其他很多行為,從而降低儀器的性能和執(zhí)行所需功能的能力。平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)采用閉環(huán)控制系統(tǒng),以主動(dòng)消除此類運(yùn)動(dòng),從而保證達(dá)到這些儀器的重要性能目標(biāo)。圖1是平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)的整體框圖,它使用伺服電機(jī)來(lái)校正角向運(yùn)動(dòng)。反饋傳感器為儀器平臺(tái)提供動(dòng)態(tài)方位信息。反饋控制器處理這些信息,并將其轉(zhuǎn)換為伺服電機(jī)的
隨著無(wú)線通信技術(shù)、嵌入式計(jì)算機(jī)技術(shù)與微機(jī)電(MEMS)技術(shù)的發(fā)展,無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)(WSNs)已經(jīng)越來(lái)越深入到人類生活的方方面面,而對(duì)于無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)(WSN),電池壽命和電路板空間逐漸成為關(guān)鍵性規(guī)范,因此缺少可供使用的選項(xiàng)也許會(huì)令人沮喪。
MEMS加速度計(jì)終于達(dá)到了能夠測(cè)量廣泛機(jī)器平臺(tái)振動(dòng)的階段。其最近的能力進(jìn)步,加上MEMS加速度計(jì)已有的相對(duì)于傳統(tǒng)振動(dòng)傳感器的諸多優(yōu)勢(shì)(尺寸、重量、成本、抗沖擊性、易用性),促使一類新興的狀態(tài)監(jiān)控(CBM)系統(tǒng)開始使用MEMS加速度計(jì)。
微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)作為一項(xiàng)新興的微細(xì)加工技術(shù),已開始在各領(lǐng)域應(yīng)用。它可將信息獲取、處理和執(zhí)行等功能集成,具有微小、智能、可執(zhí)行、可集成、工藝兼容性好、成本低等優(yōu)點(diǎn),在紅外探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域也有非常廣泛的應(yīng)用前景,將為該領(lǐng)域的研究提供一條更新的途徑。將MEMS技術(shù)用于非制冷紅外探測(cè)器的研制能夠使器件向高可靠性、微型化、智能化、高密度陣列集成和低成本、可批量生產(chǎn)等方向發(fā)展,并有可能利用該技術(shù)制造出具有全新機(jī)理的非制冷紅外探測(cè)器。