7月4日，浦東科創(chuàng)集團(tuán)投資企業(yè)睿勵科學(xué)儀器(上海)有限公司（以下簡稱“ 睿勵科學(xué)儀器”）宣布完成了一輪增資，直接融入現(xiàn)金超過1.6億元，該輪增資由部分原有股東全部認(rèn)購。本輪所融資金將主要用于光學(xué)膜厚量測設(shè)備和缺陷檢測設(shè)備的產(chǎn)品迭代研發(fā)及新產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)投入。

睿勵科學(xué)儀器創(chuàng)建于2005年，總部設(shè)立在張江，研發(fā)和銷售團(tuán)隊(duì)分布于北京、上海、西安、武漢等地。公司從事集成電路生產(chǎn)制造工藝檢測設(shè)備的開發(fā)和研制。公司膜厚測量、缺陷檢測及光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量等設(shè)備已為國內(nèi)近20家前道半導(dǎo)體晶圓制造客戶所采用，在不同的生產(chǎn)工藝產(chǎn)線上通過了大規(guī)模量產(chǎn)驗(yàn)證（累計(jì)數(shù)以億計(jì)的晶圓跑片數(shù)），無論是設(shè)備穩(wěn)定性還是快速響應(yīng)解決問題的能力都得到了客戶認(rèn)可，在幫助產(chǎn)線提高生產(chǎn)效率，提升良率，降低設(shè)備擁有成本等方面成果顯著。近兩年推出的12吋膜厚量測設(shè)備TFX4000系列和應(yīng)用于明暗場的12吋高精度光學(xué)缺陷檢測設(shè)備WSD系列在相繼交付國內(nèi)重要客戶后，快速通過驗(yàn)證并接連獲得客戶好評，已取得多臺重復(fù)銷售訂單。

睿勵科學(xué)儀器在設(shè)立之初就得到了浦東科創(chuàng)集團(tuán)的支持。浦東科創(chuàng)不僅多次投資睿勵，在睿勵發(fā)展中，依托自身的產(chǎn)業(yè)生態(tài)持續(xù)的幫助企業(yè)引入關(guān)鍵人才、梳理發(fā)展戰(zhàn)略、獲得融資、開拓市場、獲得訂單，特別是2021年3月，由浦東科創(chuàng)集團(tuán)牽線，睿勵科學(xué)儀器引入中微新一輪1億元戰(zhàn)略投資。自此，公司的客戶渠道有了保障，產(chǎn)品銷量有了提升，管理技能進(jìn)一步提高，發(fā)展進(jìn)入了快車道。

睿勵科學(xué)儀器相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，在本輪融資完成后，睿勵科學(xué)儀器將繼續(xù)深耕集成電路芯片生產(chǎn)工藝檢測設(shè)備市場，進(jìn)一步豐富光學(xué)量測和光學(xué)缺陷檢測產(chǎn)品系列，在加速光學(xué)膜厚量測設(shè)備、OCD量測設(shè)備、光學(xué)缺陷檢測設(shè)備等產(chǎn)品迭代更新的同時(shí)，將逐步開啟其他光學(xué)類檢測設(shè)備的開發(fā)和應(yīng)用拓展，力爭盡早達(dá)到國際廠商同類設(shè)備應(yīng)用能力全覆蓋，為早日實(shí)現(xiàn)集成電路前道工藝檢測設(shè)備國產(chǎn)化全面替代的目標(biāo)而努力奮斗。