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中國科大發(fā)展關(guān)聯(lián)量子傳感技術(shù)實(shí)現(xiàn)點(diǎn)缺陷的三維納米成像

中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)中國科學(xué)院微觀磁共振重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室杜江峰、王亞等人在量子精密測量領(lǐng)域取得重要進(jìn)展,提出基于信號關(guān)聯(lián)的新量子傳感范式,實(shí)現(xiàn)對金剛石內(nèi)點(diǎn)缺陷的高精度成像,并實(shí)時(shí)觀測了點(diǎn)缺陷的電荷動力學(xué)。這項(xiàng)研究成果以“Correlated sensing with a solid-state quantum multisensor system for atomic-scale structural analysis”為題,于1月5日在線發(fā)表在《Nature Photonics》上。


最近二十多年時(shí)間里,量子傳感的發(fā)展已經(jīng)使得很多物理量的測量技術(shù)取得了革命性的進(jìn)展。比如基于納米尺度的金剛石氮-空位色心量子傳感器有望實(shí)現(xiàn)單分子的結(jié)構(gòu)解析(杜江峰院士團(tuán)隊(duì)前期工作:Nature Physics10, 21 (2014);Science 347, 1135 (2015);Nature Methods 15, 697 (2018))。以磁測量為例,當(dāng)前實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)解析的量子傳感范式需要對標(biāo)記的自旋探測目標(biāo)進(jìn)行量子操控。然而自然界中的很多物理現(xiàn)象既不包含自旋也無法直接操控,如半導(dǎo)體中的電荷動力學(xué)導(dǎo)致的隨機(jī)電報(bào)信號等。更重要的是,當(dāng)多個(gè)探測對象信號重疊相互干擾,單個(gè)量子傳感器將無法對信號進(jìn)行有效提取與分析。


為此本工作提出了一種新的量子傳感范式,即利用多個(gè)量子傳感器之間的信號關(guān)聯(lián),提升對復(fù)雜對象的解析能力和重構(gòu)精度。研究團(tuán)隊(duì)基于自主發(fā)展的氮-空位色心制備技術(shù),可控制備出相距約200納米的三個(gè)氮-空位色心作為量子傳感系統(tǒng),通過對隨機(jī)電場探測展示了這種新的量子傳感范式。


圖:(a)實(shí)驗(yàn)體系的示意圖,小圖為本工作中使用的三色心體系的超分辨成像;(b)共振熒光激發(fā)譜的譜峰位置漲落,對應(yīng)了每個(gè)色心處的電場漲落;(c)利用三個(gè)色心的電場漲落信號之間的關(guān)聯(lián)可以分辨出不同的缺陷;(d)量子定位系統(tǒng)的示意圖;(e)在三個(gè)色心周圍定位出的16個(gè)點(diǎn)缺陷。


金剛石是一種性能優(yōu)異的寬禁帶半導(dǎo)體材料,材料中點(diǎn)缺陷的電荷動力學(xué)會帶來隨機(jī)的電場噪聲。本工作中,利用金剛石氮-空位色心激發(fā)態(tài)的直流斯塔克效應(yīng)來實(shí)現(xiàn)對電場的傳感。當(dāng)某個(gè)點(diǎn)缺陷的電荷狀態(tài)發(fā)生改變時(shí),三個(gè)氮-空位色心可以同時(shí)探測到因電荷變化而引起的電場變化。利用三個(gè)色心間電場同時(shí)變化的關(guān)聯(lián)特征,可以從雜亂無章的漲落電場中解析出每個(gè)點(diǎn)缺陷對應(yīng)的電場。并且由于每個(gè)點(diǎn)缺陷和三個(gè)氮-空位色心的相對空間位置不同,就可以根據(jù)每個(gè)氮-空位色心所感受到的電場方向和大小的不同,來精確定位出點(diǎn)缺陷的空間位置。使用這種類似于衛(wèi)星定位的量子定位技術(shù),研究團(tuán)隊(duì)成功對微米范圍內(nèi)16個(gè)點(diǎn)缺陷進(jìn)行了定位,定位精度最高達(dá)到1.7納米?;谶@種關(guān)聯(lián)分辨和精確定位的能力,研究團(tuán)隊(duì)還實(shí)現(xiàn)了對每個(gè)點(diǎn)缺陷電荷動力學(xué)的原位實(shí)時(shí)探測,為研究體材料內(nèi)部點(diǎn)缺陷的性質(zhì)提供了新的方法。


這一成果展示了基于量子技術(shù)的超高靈敏度缺陷探測,可對0.01ppb級別的缺陷濃度(一千億個(gè)正常原子中出現(xiàn)一個(gè)缺陷)進(jìn)行探測。這要比目前最靈敏方法的探測極限提升兩個(gè)量級以上,有望為當(dāng)前十納米以下芯片中的缺陷檢測提供一種強(qiáng)有力的技術(shù)手段。


中國科學(xué)院微觀磁共振重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室特任副研究員季文韜、博士研究生劉昭昕與郭宇航為本工作共同第一作者,杜江峰院士、王亞教授為共同通訊作者。此項(xiàng)研究得到了國家自然科學(xué)基金委、中國科學(xué)院、科技部和安徽省的資助。


論文鏈接:https://www.nature.com/articles/s41566-023-01352-4


(中國科學(xué)院微觀磁共振重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、物理學(xué)院、中國科學(xué)院量子信息和量子科技創(chuàng)新研究院、科研部)


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