6月的蚌埠驕陽似火，位于蚌埠經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的華鑫微納廠區(qū)內(nèi)，一群來自設(shè)備供應(yīng)商的工程師們正與廠方對接著一個個參數(shù)、管線、流程……“現(xiàn)在已經(jīng)成功下線包括壓力傳感器、慣性傳感器、氣體傳感器等三款MEMS(微機電系統(tǒng))產(chǎn)品，目前是產(chǎn)能爬坡的階段?！比A鑫微納副總經(jīng)理張勝兵告訴記者，有了這條目前國內(nèi)領(lǐng)先的全自動8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線，傳感谷就有了智能傳感器產(chǎn)業(yè)賴以進階的制造基座，上下游企業(yè)可以此為基礎(chǔ)，展開從源頭設(shè)計到市場應(yīng)用的一系列科技創(chuàng)新。

傳感器如同現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品的“五官”，能聽到、看到、感受到，是連接物理世界與數(shù)據(jù)世界的橋梁。位于蚌埠的中國傳感谷通過智能傳感器這個小切口，做好以AI為代表的未來產(chǎn)業(yè)大文章，培植新動能，招引更多上下游企業(yè)集聚，實現(xiàn)老工業(yè)城市轉(zhuǎn)型升級。

8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線重構(gòu)產(chǎn)業(yè)版圖

時間回到今年的5月24日，第七屆智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會在蚌埠舉辦。來自行業(yè)內(nèi)的知名專家、行業(yè)協(xié)會領(lǐng)導(dǎo)及企業(yè)代表濟濟一堂。記者從大會主辦方獲悉，原定500個坐席安排，因網(wǎng)絡(luò)自主報名企業(yè)超過了200家，現(xiàn)場不得不臨時增加了“網(wǎng)絡(luò)報名”坐席。企業(yè)如此踴躍，足見連續(xù)七屆大會以及安徽蚌埠在智能傳感器行業(yè)內(nèi)的影響力。

“我們是做光敏器件的，這次來就是來了解下蚌埠這條8英寸線?！睙o錫的一家企業(yè)代表告訴記者，現(xiàn)場受訪的多位企業(yè)代表都表達了對這條生產(chǎn)線以及蚌埠智能傳感器產(chǎn)業(yè)配套能力的興趣。

為何眾多企業(yè)因一家企業(yè)、一條生產(chǎn)線慕名而來？行業(yè)內(nèi)數(shù)據(jù)顯示，2024年全球8英寸MEMS晶圓供貨量達到400萬片，國內(nèi)消耗近200萬片，而國內(nèi)年產(chǎn)能僅約9萬片。華鑫微納公開的產(chǎn)能規(guī)劃顯示，到2025年底月產(chǎn)突破1萬片，到2027年達到月產(chǎn)3萬片的規(guī)模。

“MEMS晶圓制造能力是智能傳感器研發(fā)生產(chǎn)的基座，現(xiàn)在大多數(shù)的傳感器都是在晶圓片上‘建筑’微機電系統(tǒng)，進而完成各種功能。”張勝兵解釋說，無論是前期的MEMS的設(shè)計需要小批量流片，還是后期市場量產(chǎn)需要大批量供貨，都離不開MEMS晶圓的制造。

因此，大量智能傳感器企業(yè)會向MEMS晶圓生產(chǎn)線附近聚集。蚌埠此前有北方微電子研究院的6英寸晶圓中試線，吸引了上下游20余家相關(guān)企業(yè)入駐中國傳感谷。

可以預(yù)見，華鑫微納8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線未來的量產(chǎn)將重塑國內(nèi)MEMS晶圓制造的版圖，進而重構(gòu)全國智能傳感器產(chǎn)業(yè)的勢力版圖。

智能化大潮中小切口做大文章

具身智能機器人和你握手時，力度適中，讓你既感受到熱情又不失禮貌。智能汽車能在毫秒之間，通過慣性G值的突變，預(yù)收緊安全帶、啟動輔助剎車系統(tǒng)，確保你的安全。安裝在智能家居內(nèi)的環(huán)境傳感器動態(tài)調(diào)節(jié)室內(nèi)溫濕度、空氣質(zhì)量。這些智能技術(shù)應(yīng)用新場景，都離不開傳感器的應(yīng)用。

在全球智能化大潮中，如何把握好智能傳感器這個小切口，做出大文章？蚌埠圍繞華鑫微納8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線、北方微電子研究院等基礎(chǔ)制造、研發(fā)優(yōu)勢，應(yīng)對行業(yè)“產(chǎn)品品種多、企業(yè)規(guī)模小、應(yīng)用領(lǐng)域分散、制造工藝復(fù)雜”的痛點，做好廣大企業(yè)的“供給站”，讓企業(yè)“拎包入住”。

“8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線就是代表，技術(shù)、資金高度密集，一家企業(yè)很難投建，我們來建！”蚌埠經(jīng)開區(qū)黨工委委員、副主任湯偉介紹，除此之外，智能傳感器封裝過程中需要使用特殊氣體，蚌埠經(jīng)開區(qū)建起了“共享”大宗氣站；很多傳感器產(chǎn)品要進行表面處理，這里建起了“共享”表面處理中心。

同時，引入以蔣莊德院士團隊為核心的精密微納制造技術(shù)全國重點實驗室長三角（蚌埠）產(chǎn)教融合協(xié)同中心，并與大院大所、著名高校合作建成39個科創(chuàng)平臺，為園區(qū)企業(yè)提供全方位的科研技術(shù)支撐。

“我們是全球傳感器最大的消費市場，但高端智能傳感器96%依賴進口。”我國傳感器領(lǐng)域知名專家郭源生表示，這給了所有行業(yè)中小企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)造的機遇，也給了蚌埠這座城市機會。在他看來，蚌埠因其獨特的技術(shù)研發(fā)優(yōu)勢和公共服務(wù)平臺能力，構(gòu)建了較好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，與國內(nèi)一些一線城市處于并跑的狀態(tài)，在某些細分領(lǐng)域甚至是領(lǐng)跑。

老工業(yè)城市搶抓AI時代新機遇

在中國傳感谷內(nèi)的安徽希磁科技股份有限公司生產(chǎn)車間內(nèi)，一個個黑色小方塊正通過一道道精密工序生產(chǎn)出來。這些看起來只有指甲蓋大小的小方塊，能夠精準感知電流，被廣泛應(yīng)用到光伏逆變器、新能源汽車等領(lǐng)域。

“我們已經(jīng)掌握了產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，實現(xiàn)了全鏈條的自主可控，現(xiàn)在幾乎所有國內(nèi)光伏和新能源汽車行業(yè)龍頭企業(yè)都是我們的客戶?！毕４趴萍加邢薰靖笨偨?jīng)理張弛說。目前，希磁科技在新能源汽車的磁電流傳感器細分市場占有率第一。

以芯動聯(lián)科為代表的慣性傳感器主要應(yīng)用于消費電子，以希磁科技為代表的磁電流傳感器裝備在新能源汽車等電控場景，目前在各自行業(yè)都是領(lǐng)軍企業(yè)。蚌埠經(jīng)開區(qū)副主任湯偉介紹，隨著2021年蚌埠市提出打造“中國傳感谷”，4年的時間里，這里已經(jīng)集聚了23家領(lǐng)軍企業(yè)、200余家智能傳感產(chǎn)業(yè)相關(guān)企業(yè)，成為安徽人工智能產(chǎn)業(yè)“三谷”之一，2024年成功入選全國十大高質(zhì)量傳感器園區(qū)，名列第六。

“中國傳感谷是我省人工智能版圖上‘三谷聯(lián)動’中的重要一極，蚌埠早在上世紀90年代已是全國傳感器三大制造基地之一?！卑霾航?jīng)濟開發(fā)區(qū)管委會主任陶廣生向記者表示，當(dāng)前，搶抓AI時代傳感器產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級新機遇，蚌埠市加快科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合，中國傳感谷建立了省、市、區(qū)三級政策扶持體系，從資金支持、科創(chuàng)平臺建設(shè)、人才引育、海外發(fā)展等多方面護航企業(yè)創(chuàng)新發(fā)展，耐心陪伴企業(yè)成長。