隨著人工智能、物聯網、數字經濟、智能裝備、元宇宙等產業(yè)的快速發(fā)展，MEMS傳感器的需求量在快速增長。根據 Yole 的 數據，2020 年全球 MEMS 行業(yè)市場規(guī)模為 120.48 億美元，預計 2026 年市場規(guī)模將達到 182.56 億美元。

國內MEMS傳感器市場巨大，據賽迪顧問報告稱，預計到2023年中國MEMS市場規(guī)模將超過1200億元，然而中國目前中高端傳感器還是以進口為主，尤其是在智能傳感器方面，和國外還有巨大的差距。

為了盡快滿足國內對中高端智能傳感器的大量應用需求，提高本土廣泛應用場景的數字化和智能化，構建多領域、深層次的國際科技合作體系，引導先進技術實現本土產業(yè)化、國產化尤為重要。

在此背景下，平湖經濟技術開發(fā)區(qū)和德國漢希科特應用研究院共同成立了漢?？铺匕雽w技術（平湖）有限公司（簡稱“漢希科特（平湖）”）。德國漢?？铺貞醚芯吭撼闪⒂?990年，是位于德國巴登符騰堡州半導體的一家州立微系統(tǒng)傳感器應用研究院，專注于硅基技術、微傳感器開發(fā)、電子和微電子系統(tǒng)以及軟件解決方案，在該領域研究中有極強的競爭力。

作為德國漢?？铺貞醚芯吭涸谌虻牡谝患液Ｍ馐袌鐾卣箼C構，漢希科特（平湖）創(chuàng)立初衷是希望將德國先進的微系統(tǒng)傳感器制造技術在中國市場實現國產化，嘗試將各類高質量傳感器應用到相關產業(yè)領域。

據悉，漢?？铺兀ㄆ胶碛谐墒斓难邪l(fā)平臺、設施設備和人才隊伍，設立了專門的研發(fā)實驗室，研發(fā)辦公室，萬級潔凈車間和加工車間。

3月29日，感知芯視界在2023深圳國際傳感器與應用技術展覽會上采訪了漢?？铺兀ㄆ胶┛偨浝礴婁J，請她分享了漢?？铺貛淼牧咙c展品以及企業(yè)在傳感器技術研發(fā)、市場應用等方面的技術優(yōu)勢、未來的發(fā)力方向。

圖片圖：漢?？铺匕雽w技術（平湖）有限公司總經理鐘銳

以下是專訪對話內容：

Q：請您介紹漢?？铺兀ㄆ胶┰谏钲趪H傳感器展會上帶來了哪些亮點產品？

鐘銳：我們帶來了一些德國漢?？铺貞醚芯吭罕容^成熟的產品，希望可以對接中國市場，比如流量傳感器、微流控式細胞打印頭以及氣體傳感器等。德國漢?？铺貞醚芯吭阂呀浻?0年的歷史，成立于1953年，最初是鐘表制造研究所，自1980年MEMS技術興起時，開始研發(fā)MEMS傳感器，1981年改為微系統(tǒng)應用研究院，在MEMS行業(yè)積累了很多專業(yè)的產品。

Q：目前咱們的產品都是基于德國的技術來做？

鐘銳：是的，因為MEMS傳感器開發(fā)的流程非常長，一款產品從開發(fā)走到市場應用需要花費很多年的時間。我們現在希望把漢希科特（平湖）做成一個平臺，把德國成熟的技術、成熟的產品引進過來對接中國的市場。實際上這個對接過程也是需要時間的，因為MEMS傳感器類似于非標定制產品，每個企業(yè)、每個客戶都有自己特殊的需求，我們需要對接本地化的需求，并進行落地應用。

Q：請您談談漢?？铺兀ㄆ胶└聡鴿h希科特應用研究院的合作模式是怎么樣的？

鐘銳：可以把我們看成是一家人。目前我們在平湖正在組建中國設計和工藝團隊。因為MEMS比較特殊，它需要有一條產線來做支撐，我們也在規(guī)劃未來建設一條MEMS制造中試線。

在產品開發(fā)方面，我們正在做逐步的轉移。我們希望把德國的技術引進到中國來，逐步實現國產化。比如在MEMS產品封測方面，我們已在平湖建設了一條封測中試線。

Q：德國跟國內市場也不一樣，人才團隊建設重點也不同？

鐘銳：確實如此，盡管產品、場景是類似的，但國內市場跟國外市場是不同的。所以我們在國內的人才很看重應用工程師。電路和應用這兩塊是我們最先組建的團隊。

Q：請您介紹一下具體的產品應用案例？

鐘銳：我先給大家介紹一下德國漢希科應用研究院那邊的應用案例。比如流量傳感器用在工業(yè)以及汽車上。實際上，這款流量傳感器在德國的應用非常多，客戶的范圍也會非常廣。

德國漢?？铺貞醚芯吭翰⒉皇侵蛔鰠f助開發(fā)，他可以提供的服務種類非常多。比如，可以根據歐洲傳感器大廠客戶的需要提供MEMS芯片的設計；此外，漢?？铺剡€擁有晶圓制造6寸和8寸產線，24小時運行，可以為客戶提供MEMS芯片代工服務。德國漢?？铺貞醚芯吭旱牧髁總鞲衅?、氣體傳感器、陀螺儀以及微流控等產品，遍布世界多地。

Q：請您談談漢?？铺兀ㄆ胶┑漠a品跟國內的競品比，有哪些方面的優(yōu)勢？

鐘銳：首先是來源比較可控，因為芯片來源都是我們自己可掌握的。其次，我們在國內有穩(wěn)定的合作晶圓廠，產能也相對有保障。未來，我們希望逐漸把這個產品工藝開發(fā)放在國內，最后實現全產業(yè)鏈自主可控。

Q：請問你們的目標應用領域是汽車還是工業(yè)？

鐘銳：我們漢?？铺刂饕龉I(yè)市場，但也會服務于做汽車產品的公司。

Q：請問漢希科特在中國這邊的研究院和公司，未來方向上會以哪個為主？

鐘銳：兩個都要同時運行的。我們是帶著德國漢?？铺貞醚芯吭旱氖姑鼇韯?chuàng)立漢希科特（平湖）的。我們希望將德國微系統(tǒng)應用研究院的模式在中國的市場和研究機構環(huán)境下進行衍生推行，將德國先進的微系統(tǒng)傳感器制造技術在中國市場的驅動下，實現國產化。

德國漢?？铺貞醚芯吭菏遣捎梅菭I利模式來運營的。收益投入到設備更新和擴大廠房建設中，以保持跟客戶企業(yè)同樣的生產水平。我們當時成立漢?？铺兀ㄆ胶┑臅r候，獲得了德國研究院的院長、領導們的大力支持。他們都是做技術出身，希望把自己的技術用到有需要的地方，不分國界。

漢希科特（平湖）研究院是秉持著為中國市場服務的初心，一方面做新產品和未來產品方向的開發(fā)和研發(fā)，帶有研究所的性質。從企業(yè)角度來看，我們是公司化運作，為企業(yè)提供開發(fā)服務和定制化MEMS傳感器。具體服務模式，是多樣化的。

Q：請您談談德國漢?？铺匮芯吭河心男┓矫娴慕涷炛档梦覀內ソ梃b？

鐘銳：我覺得這個問題提得很中肯。

德國研究院一般分為兩種。一種是科學研究院，比如“量子之父”馬克斯·普朗克是做科學研究的，有很多的專利、發(fā)明等；另外一種是做應用技術的研究院，比如弗朗霍夫研究所，主要是研究技術如何產業(yè)化落地。

德國漢希科特應用研究院類似于后者，獨特的地方在于漢希科特有MEMS傳感器芯片制造生產線。很多合作企業(yè)即使拿到了MEMS傳感器的工藝技術，他們的產線很難制造出所需芯片，所以委托漢?？铺貋硖峁┐し?。因此，漢希科特就變成了一個可提供MEMS傳感器的制造代工的研究所。我們也考慮在中國也可以把這一塊發(fā)揚光大，為周邊企業(yè)做高精度的MEMS傳感器代工服務。

另一方面，德國漢?？铺馗髽I(yè)的緊密合作，是值得我們學習的。漢希科特位于巴登符騰堡州四個地方，在斯圖加特大學，烏爾姆大學，弗萊堡大學，總部位于威靈根施威靈根。巴登符騰堡州有大量的工業(yè)企業(yè)，為了可以支持這些企業(yè)，漢?？铺卦诘乃膫€機構，為企業(yè)提供定制化MEMS傳感器研發(fā)和制造服務。

中國跟德國的企業(yè)是不同的。比如，在德國，漢希科特會跟其它傳感器公司或者生產企業(yè)的部門合作，一起開發(fā)產品；但在中國，可能中小型企業(yè)目前還不具備技術研發(fā)能力，他們往往會給出需求，我們來提供量產前的樣品或者直接提供產品。

總的來說，中德兩地的企業(yè)發(fā)展情況不同，我們也需要向中國的應用研究所學習寶貴經驗，二者要相互結合、因地制宜。我們始終保持開放合作的模式，目的是為中國客戶提供穩(wěn)定的中高端的傳感器。